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真空泵油的性能要求主要表现在以下几方面：
1、有适当的黏度，一般为ISO32~150,一般转速越高，线速度越大，配合间隙越小，则选的黏度越低;
2、有低的饱和蒸气压，就是要有窄的馏分，尽量少含轻组分，这是真空泵油的特有要求：
3、有优良的热稳定性和抗氧化性，这相同于压缩机油;
4、有好的分水性和抗泡沫性，这也与压缩机油一致。
扩散泵油主要有以下性能要求：
1、在冷凝器的温度下(约20℃)必须有低的饱和蒸气压才能得到高的真空度;
2、在蒸发器的温度下应有尽可能大的饱和蒸气压，使真空泵能在较高的出口压强下工作;
3、有优良的热稳定性和抗氧化性，有长的使用寿命;
4、有些用途还要求有好的化学安定性和抗辐射能力。
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